1.多功能真空加熱爐,一體爐膛設(shè)計(jì)、可實(shí)現(xiàn)、高溫、真空、氣氛環(huán)境下進(jìn)行測試;
2.采用鉑材料作為導(dǎo)線、以減少信號衰減、提高測試精度;
3.可以測量半導(dǎo)體薄膜材、薄片材料的方塊電阻、電阻率;
4.可實(shí)現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的1-V、R-T、R-t等測量功能;
5.溫度傳感器、PID自動溫度控制,使測量溫度更精zhun;
6.儀器可自動計(jì)算試樣的電阻率pV;
7.10寸觸摸屏設(shè)計(jì),一體化設(shè)計(jì)機(jī)械結(jié)構(gòu),更加穩(wěn)定、可靠;
8.程控電子升壓技術(shù),紋波更低、TVS防護(hù)系統(tǒng),保證儀器安全性;
9.99氧化鋁陶瓷絕緣、碳化鎢探針;
10.huace pro控制分析軟件;
11.整體為桌面型設(shè)計(jì),采用紅外燈加熱,無保溫爐膛結(jié)構(gòu),滿足實(shí)驗(yàn)室無灰塵排放的要求;
12.內(nèi)置工控機(jī)、觸摸屏,可以利用工控機(jī)設(shè)定加熱曲線,并實(shí)現(xiàn)和其他測試設(shè)備的集成控制;
13.定點(diǎn)控溫模式下,可以將樣品10s內(nèi)加熱到1000攝氏度;
控溫加熱下,可以5度/s速率下線性加熱到1000攝氏度;
14.在1000度下可以連續(xù)工作時間不低于1小時;
15.采用鉑熱電偶直接測定樣品附近溫度;
16.樣品可以工作在大氣、真空、氣氛環(huán)境下加熱;
17.配備真空泵,水冷設(shè)備,配備超溫、缺水、過流等報(bào)警保護(hù)裝置;
18.溫度均勻區(qū):60mm*100mm。