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基礎信息Product information

產(chǎn)品名稱：

半導體封裝材料探針臺/兼容顯微鏡微調(diào)移動

產(chǎn)品型號：Huace-6

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

所在地：北京市

更新日期：2024-10-10

產(chǎn)品簡介：

半導體封裝材料探針臺/兼容顯微鏡微調(diào)移動,中端探針臺可兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動；可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復應用

產(chǎn)品特性Product characteristics

品牌	華測

中端探針臺

產(chǎn)品簡介：

探針臺是一種輔助執(zhí)行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點及應用：

◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等；

◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測試；

◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動；

◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動；

◆ 可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復應用；

技術參數(shù)：

臺體規(guī)格
尺寸	4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉(zhuǎn)	可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程	4英寸×4英寸/6英寸×6英寸
X-Y移動精度	10μm/1μm
樣品臺Z軸調(diào)節(jié)	可升降10mm
樣品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺	U型針座平臺，zuiduo可放置6個探針座
背電極測試	樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
外形尺寸	400mm長400mm寬600mm高/580mm長480mm寬600mm高
設備重量	約20KG

光學系統(tǒng)
顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移動行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm
光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD	200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器
X-Y-Z移動行程	12mm12mm12mm
移動精度	10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
吸附方式	磁力吸附，真空吸附
線纜	同軸線/三軸線
漏電精度	10pA/100fA/10fA
固定探針	彈簧固定/管狀固定
接頭類型	BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑	0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
針尖材質(zhì)	鎢鋼；鈹銅